次世代成膜装置
ENTRON^TM-EX W300シリーズ
ENTRON^TM-EX W300S/T

既に数多くの出荷実績を持つENTRONシリーズで培ったインテグレーションマシンとしての機能を更に拡張すると共に、生産性の更なる向上を目指した様々な要素技術を搭載し、32nmノードまでの微細化プロセスに対応している