スパッタリング装置
SMDシリーズ

SMDシリーズは金属膜、ITO膜等を成膜する枚葉式スパッタリング装置です。豊富な納入実績を持ち、様々な生産環境下で稼動しております。生産現場から寄せられる生の声をタイムリーに反映しその信頼性を更に向上させています。